安徽省光学学会

2024年05月10日 星期五

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1.2亿美元7纳米极紫外线光刻机,工作时内部像科幻片一样

文章来源:直观学机械作者:发布时间:2020-03-25


  荷兰阿斯麦(ASML)公司的光刻机作为世界上最贵最精密的仪器,相信大家都有耳闻,它是加工芯片的设备。其最先进的EUV(极紫外光)光刻机已经能够制造7nm以下制程的芯片,据说一套最先进的7纳米EUV光刻机价格高达1.2亿美元,比一架波音737都贵。

  下面是最近ASML公布的极紫外光光刻机内部加工时的镜头,十分震撼:

  在这台光刻机中,每秒在真空环境中,从底部容器流出5万滴融化的锡液,一对激光束照射每一滴液体产生等离子体,释放出更短的波长,超高精度的反射镜引导光线....7纳米极紫外线光刻机,分为13个系统,3万个分件,作动时每一分都要精准。

  每台光刻机的装配大约需要50000个零件左右,像德国蔡司的光学设备,美国Cymer的光源都是阿斯麦的上游供应商。阿斯麦创立于1984年,是从飞利浦独立出来的一个半导体设备制造商,,总部位于荷兰费尔德霍芬。

  接下来我们走进ASML光刻机工厂,看看世界上最贵精密仪器出厂地↓↓

原文链接:https://www.sohu.com/a/381381758_655347


延伸阅读(节选自“百度百科”)

  极紫外线光刻机是芯片生产工具,是生产大规模集成电路的核心设备,对芯片工艺有着决定性的影响。

  阿斯麦公司掌握了90%以上的高端光刻机市场份额。最新的两代高端光刻机领域,即浸入式(Immersion)和极紫外线式(EUV)光刻机,全部由阿斯麦掌握核心技术。

  光刻机(又称曝光机)是生产大规模集成电路的核心设备,制造和维护需要高度的光学和电子工业基础,世界上只有少数厂家掌握。光刻机的作用是扫描曝光芯片晶圆,刻蚀集成电路。精度越高的光刻机,能生产出纳米尺寸更小,功能更强大的芯片。小于5纳米的芯片晶圆,只能用EUV光刻机生产。

  光刻机的价格昂贵,通常在3000万至5亿美元不等。2018年4月,中芯国际向阿斯麦下单了一台价值高达1.2亿美元的EUV(极紫外线)光刻机,预计将于2019年初交货。

一台10亿元的机器,中国想买,荷兰想卖 ,美国不干了!




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